仪器从光源辐射出具有待测元素特性谱线的光，经过试样蒸气时被蒸气中待测元素基态原子所吸取，由辐射特性谱线光被削弱的水平来测定试样中待测元素的含量。

因原子吸取光谱仪的敏捷、正确、轻便等特点，现已普遍用于冶金、地质、采矿、煤油、轻工、农业、医药、卫生、餐饮及情况监测等方面的常量及微痕量元素剖析。